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VGC094真空計(jì)控器是真空過程測(cè)量、控制和數(shù)據(jù)記錄的解決方案。VGC094與各種INFICON無源真空計(jì)兼容,能夠監(jiān)測(cè)1×10-11至1000毫巴的整個(gè)真空壓力范圍。VGC094可由用戶配置,以控制多達(dá)4個(gè)無電源規(guī)頭(皮拉尼真空計(jì), 倒置磁控管測(cè)量?jī)x)通過兩組測(cè)量板進(jìn)行測(cè)量。VGC094是性能要求苛刻的應(yīng)用的理想解決方案,例如長(zhǎng)距離、高溫或高電離輻射暴露的操作。
NFICON無源冷陰極規(guī)頭MAG084專為與真空計(jì)控制器VGC094一起使用。它們采用緊湊的設(shè)計(jì),使其成為一種簡(jiǎn)單而堅(jiān)固的真空計(jì),適用于多種工業(yè)應(yīng)用。真空測(cè)量頭頭MAG084使用金屬密封,允許在特超高真 空范圍內(nèi)進(jìn)行壓力測(cè)量。
PSG010、PSG017和PSG018為歷史悠久的無源皮拉尼真空計(jì),旨在使用真空計(jì)控制器VGC094進(jìn)行操作。它們專為真空測(cè)量氣體而設(shè)計(jì)壓力范圍為8×10-4至1000毫巴。緊湊的金屬設(shè)計(jì)為普通真空應(yīng)用提供了一種穩(wěn)健的解決方案。
IE414和IE514是基于熱陰極電離效應(yīng)的高超真空傳感器。IE414是Bayard-Alpert量規(guī),而IE514基于Extractor提取器原理。這些無源真空計(jì)由IM540真空計(jì)控制器組合和控制。通過調(diào)節(jié)陰極發(fā)射電流,IE414的測(cè)量范圍從1×10-2毫巴到1×10-11毫巴,跨度超過9級(jí)。
IM540真空計(jì)控制器是一款多功能電離計(jì)控制器,可在10-12mbar和大氣壓范圍內(nèi)提供完整的真空測(cè)量和控制。根據(jù)應(yīng)用和用戶的需求,IM540是一站式解決方案,因?yàn)樗梢越Y(jié)合多達(dá)4種不同的真空測(cè)量原理-皮拉尼、電容式隔膜、Bayard-Alpert和Extractor提取器。
過程測(cè)量、控制和數(shù)據(jù)記錄的可持續(xù)解決方案TPG36x有 源真空計(jì)控制器與各種INFICON有源真空計(jì)兼容,能夠監(jiān) 測(cè)和記錄整個(gè)壓力范圍(10-10至1500毫巴(10-10至1125托)和設(shè)定點(diǎn)狀態(tài)。